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    FIB聚焦離子束技術(shù)在檢測(cè)樣品時(shí)樣品的制備流程解析
    來源: 時(shí)間:2023-12-18 16:58:58 瀏覽:3391次

    FIB聚焦離子束技術(shù)在檢測(cè)樣品時(shí)樣品的制備流程解析


    聚焦離子束FIB技術(shù)是一種基于離子光學(xué)原理的微納米加工技術(shù),其具有高精度、高效率、實(shí)時(shí)性好等優(yōu)點(diǎn)。FIB技術(shù)在我國科研、工業(yè)等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,尤其在樣品制備方面,FIB技術(shù)具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。本文將詳細(xì)介紹FIB技術(shù)在樣品制備中的應(yīng)用及制樣流程。


    FIB聚焦離子束


    FIB聚焦離子束技術(shù)原理

    FIB技術(shù)是利用聚焦的離子束對(duì)樣品進(jìn)行高精度、高效率的加工。其基本原理是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過聚焦、掃描等處理后,使其在樣品表面形成一個(gè)高能量密度的離子束斑點(diǎn),通過調(diào)節(jié)離子束的參數(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的切割、拋光等加工過程。


    FIB聚焦離子束制樣流程

    樣品固定:將待制備的樣品固定在FIB設(shè)備的工作臺(tái)上,確保樣品在加工過程中保持穩(wěn)定。常見的固定方式有機(jī)械夾持、真空吸附等。

    離子束掃描:開啟離子源,使離子束在樣品表面進(jìn)行掃描,調(diào)整離子束的掃描速度、束流等參數(shù),觀察樣品表面的反應(yīng),為后續(xù)加工過程做好準(zhǔn)備。

    離子束切割:根據(jù)樣品的形貌和結(jié)構(gòu),設(shè)定離子束的切割路徑。通過調(diào)節(jié)離子束的參數(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的切割。在切割過程中,需要注意切割速度、離子束直徑等參數(shù)的優(yōu)化,以保證切割質(zhì)量。

    離子束拋光:在切割完成后,利用離子束對(duì)樣品進(jìn)行拋光,以去除切割過程中產(chǎn)生的損傷層和雜質(zhì)。拋光過程中,需要關(guān)注離子束的參數(shù)調(diào)節(jié),以及拋光液的選用。

    樣品轉(zhuǎn)移:將制備好的樣品從FIB設(shè)備上取下,轉(zhuǎn)移到其他分析設(shè)備(如掃描電子顯微鏡透射電子顯微鏡等)上進(jìn)行進(jìn)一步分析。

    數(shù)據(jù)采集與處理:在樣品制備過程中,實(shí)時(shí)采集離子束加工參數(shù)、樣品形貌等信息,并對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理,以便優(yōu)化制備過程。



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    文字是人類用符號(hào)記錄表達(dá)信息以傳之久遠(yuǎn)的方式和工具。現(xiàn)代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產(chǎn)生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現(xiàn)了國家和民族的書面表達(dá)的方式和思維不同。文字使人類進(jìn)入有歷史記錄的文明社會(huì)。
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